Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Спесивцев, Евгений Васильевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Новосибирск 2001 | |
Физическое описание | 105 с. ил | |
Тема | Оптические и оптикоэлектронные приборы и комплексы | |
Хранение | 61 02-5/1674-1; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |