Виртуальная клавиатура
Простой поиск
Закрыть
Поиск
Результаты
ЭБ РГБ
– Электронная библиотека диссертаций
[
info
]
Запись №18
<<
|
>>
Описание /
Карточка
/
Поля MARC
Действия
Автор
Барышникова, Марина Владимировна
загрузить
в подборку
Заглавие
Закономерности осаждения слоёв диоксида титана из газовой фазы, содержащей тетраизопропилат титана : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06
Выходные данные
Санкт-Петербург 2013
Физическое описание
17 с.
Тема
Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Тема
Химическая технология. Химические производства -- Химическая технология в целом. Химические производства в целом -- Методы исследования, испытания, анализа, контроля -- Химические методы. Техно-химический анализ -- Газовый анализ -- Газоанализаторы -- Материалы для оборудования -- Неметаллические материалы
Тема
Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Неорганические соединения отдельных металлов -- Соединения металлов четвертой группы периодической системы -- Соединения титана -- Отдельные процессы производства -- Теоретические основы. Исследования
Тема
Химическая технология. Химические производства -- Технология неорганических веществ. Технология основных химических продуктов -- Катализаторы
-- Прочие катализаторы -- Отдельные процессы производства -- Теоретические основы. Исследования
Ключевые слова
титан, диоксид
тонкие пленки
Ключевые слова
биосовместимые покрытия
Ключевые слова
газовые сенсоры паров этанола
активные элементы
Ключевые слова
сенсорные материалы
Ключевые слова
фотокатализаторы
Хранение
9 14-3/1822;
Электронный адрес
Электронный ресурс
<<
|
>>