Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Мухамедханов, Улугбек Тургудович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Колориметрический контроль параметров тонких пленок в производстве интегральных схем : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.13 | |
Выходные данные | Ташкент 1989 | |
Физическое описание | 22 с. | |
Тема | Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий | |
Хранение | 9 90-2/2432-9; | |
Хранение | 9 90-2/2433-7; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |