Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Амиров, Ильдар Искандерович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Плазменные процессы формирования высокоаспектных структур для микро- и наномеханических устройств : диссертация ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2010 | |
Физическое описание | 300 с. ил. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микрорадиоэлектронная аппаратура -- Технология производства -- Плазменная обработка, травление -- Теория. Исследование -- Физические методы исследования | |
Ключевые слова |
наноструктуры - формирование |
|
Хранение | 71 11-1/167; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |