Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Голод, Сергей Владиславович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Методы формирования трёхмерных микро- и наноструктур на основе напряжённых SiGe/Si плёнок : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 | |
Выходные данные | Новосибирск 2006 | |
Физическое описание | 206 с. ил. | |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Структура полупроводников. Кристаллическая решётка полупроводников -- Тонкие слои полупроводников | |
Тема | Физика полупроводников | |
Ключевые слова |
наноструктуры тонкие пленки |
|
Хранение | 61 07-1/398; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |