Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Кочеров, Александр Николаевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Таганрог 2004 | |
Физическое описание | 145 с. ил. | |
Тема | Микроэлектроника -- Технология производства -- Нанесение покрытий. Пленочные покрытия -- Проектирование технологического процесса -- Выбор технологического варианта | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Ключевые слова |
микросистемы высокотемпературной электроники |
|
Хранение | 61 04-5/4161; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |