Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Рыжикова, Юлия Владимировна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 01.04.03 | |
Выходные данные | Москва 2008 | |
Физическое описание | 17 с. | |
Тема | Радиофизика | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Печатные схемы и приборы -- -- Технология печатных схем -- Математическое моделирование | |
Ключевые слова |
фотолитография |
|
Ключевые слова |
интегральные полупроводниковые схемы |
|
Хранение | 9 08-4/2530; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |