Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Гуляев, Вячеслав Валентинович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3 : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 2011 | |
Физическое описание | 16 с. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Тема | Радиоэлектроника -- Микроэлектроника -- Интегральные схемы -- Технология изготовления -- Лазерная обработка деталей. Плазменное травление -- Теория, исследования | |
Тема | Квантовая электроника. Интегральная оптика -- Приборы интегральной оптики -- Материалы -- Материалы с особыми свойствами -- Получение -- Методы исследований | |
Ключевые слова |
плазменное травление |
|
Хранение | 9 11-2/533; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |