Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Полищук, Григорий Сергеевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Оптические системы микроскопов контроля поверхностных фотолитографических дефектов : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Санкт-Петербург 2011 | |
Физическое описание | 21 с. | |
Тема | Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы | |
Тема | Радиоэлектроника -- Радиотехника -- Радиоэлектронная аппаратура -- Микроэлектроника -- Печатные схемы и приборы -- Технология производства печатных схем -- Фотолитография -- Технический контроль -- Микроскопические методы -- Оборудование -- детали и узлы | |
Хранение | 9 11-6/981; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |