Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Коровкина, Наталья Михайловна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Развитие методов атомно-силовой микроскопии для контроля электрических и электрофизических параметров объектов микроэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Санкт-Петербург 2006 | |
Физическое описание | 140 с. ил. | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Хранение | 61 07-5/1070; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |