Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Никаноров, Олег Викторович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Синтезированные голограммы-проекторы Френеля для фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 | |
Выходные данные | Санкт-Петербург 2011 | |
Физическое описание | 80 с. ил. | |
Тема | Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы | |
Тема | Радиоэлектроника -- Квантовая электроника. Оптоэлектроника -- Оптоэлектронные приборы -- Технология производства -- Изготовление печатных схем -- Оборудование | |
Ключевые слова |
голографическая фотолитография |
|
Хранение | 61 11-5/2530; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |