Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Лысенко, Любовь Николаевна |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 | |
Выходные данные | Москва 2001 | |
Физическое описание | 239 с. ил | |
Тема | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники | |
Хранение | 61 02-5/1297-5; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |