Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Душкин, Игорь Валерьевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Близкопольная сканирующая зондовая микроскопия для формирования и измерения свойств наноразмерных структур : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Москва 2003 | |
Физическое описание | 93 с. ил. | |
Тема | Микроэлектроника -- Наноэлектроника -- Теория, исследования -- Микроскопические методы -- Методы электронной микроскопии | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Хранение | 61 04-5/1573; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |