Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Гомжин, Иван Васильевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Технологические процессы и реакторы плазмохимического травления микроструктур элементов СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 | |
Выходные данные | Воронеж 2003 | |
Физическое описание | 208 с. ил. | |
Тема | Интегральные схемы -- Большие интегральные схемы -- Технология производства -- Травление -- Оборудование | |
Тема | Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро - и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах | |
Хранение | 61 04-5/1609; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |