Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Клюенков, Евгений Борисович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Получение пленок многокомпонентных материалов из эрозионной лазерной плазмы в химически активной газовой среде : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 | |
Выходные данные | Нижний Новгород 2003 | |
Физическое описание | 140 с. ил | |
Тема | Микроэлектроника -- Пленочные схемы и приборы -- Технология производства -- Нанесение пленочных покрытий -- Методы исследований | |
Тема | Физика конденсированного состояния | |
Ключевые слова |
лазерное нанесение покрытий аморфные пленки эпитаксиальные пленки |
|
Хранение | 61 04-1/78-8; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |