Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Солдатенко, Сергей Анатольевич |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Фазовый состав, ориентация и субструктура силицидов, образующихся при конденсации и фотонной обработке пленок Ti и Mo на кремнии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 | |
Выходные данные | Воронеж 2004 | |
Физическое описание | 113 с. ил. | |
Тема | Большие интегральные схемы -- Нанесение покрытий. Металлизация -- Исследование | |
Тема | Физико-математические науки -- Физика -- Физика твердого тела. Кристаллография -- Физика полупроводников и диэлектриков -- Физика полупроводников -- Электрические свойства. Электронные явления -- Электрические явления при контакте полупроводников с полупроводниками, металлами и диэлектриками -- Тонкие слои полупроводников | |
Тема | Физика конденсированного состояния | |
Хранение | 61 05-1/137; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |