Описание / Карточка / Поля MARC | Действия | |
---|---|---|
Автор | Обвинцев, Олег Александрович |
загрузить
в подборку |
Заглавие | Повышение качества поверхности полупроводникового кремния при лезвийной обработке с помощью дополнительного деформирования срезаемого слоя : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.03.01 | |
Выходные данные | Екатеринбург 1999 | |
Физическое описание | 19 с. | |
Тема | Процессы механической и физико-технической обработки, станки и инструмент | |
Хранение | Др-99/95; | |
Электронный адрес |
Электронный ресурс |